序號(hào)

檢驗(yàn)方法

適用參數(shù)及
范圍（μm）

說(shuō)明

1

樣塊
比較法

直接目測(cè)：
R_a>2.5；
用放大鏡：
R_a >
0.32～0.5；

　　以表面粗糙度比較樣塊工作面上的粗糙度為標(biāo)準(zhǔn)， 用視覺(jué)法或觸覺(jué)法與被測(cè)表面進(jìn)行比較，以判定被測(cè)表面是否符合規(guī)定；     
　　用樣塊進(jìn)行比較檢驗(yàn)時(shí)，樣塊和被測(cè)表面的材質(zhì)、加工方法應(yīng)盡可能一致；     
　　樣塊比較法簡(jiǎn)單易行，適合在生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)使用

2

顯微鏡
比較法

R_a <0.32

　　將被測(cè)表面與表面粗糙度比較樣塊靠近在一起，用比較顯微鏡觀察兩者被放大的表面，以樣塊工作面上的粗糙度為標(biāo)準(zhǔn)，觀察比較被測(cè)表面是否達(dá)到相應(yīng)樣塊的表面粗糙度；從而判定被測(cè)表面粗糙度是否符合規(guī)定。此方法不能測(cè)出粗糙度參數(shù)值

3

電動(dòng)
輪廓儀
比較法

R_a ：
0.025～6.3
R_z：
0.1～25

      電動(dòng)輪廓儀系觸針式儀器。測(cè)量時(shí)儀器觸針_在被測(cè)表面上垂直于加工紋理方向的截面上，做水平移動(dòng)測(cè)量，從指示儀表直接得出一個(gè)測(cè)量行程R_a值。這是R_a值測(cè)量_常用的方法。或者用儀器的記錄裝置，描繪粗糙度輪廓曲線(xiàn)的放大圖，再計(jì)算R_a或R_z值。此類(lèi)儀器適用在計(jì)量室。但便攜式電動(dòng)輪廓儀可在生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)使用

4

光切
顯微鏡
測(cè)量法

R_z：
0.8～100

　　光切顯微鏡（雙管顯微鏡）是利用光切原理測(cè)量表面粗糙度的方法。從目鏡觀察表面粗糙度輪廓圖像，用測(cè)微裝置測(cè)量R_z值和R_y值。也可通過(guò)測(cè)量描繪出輪廓圖像，再計(jì)算R_a值，因其方法較繁而不常用。必要時(shí)可將粗糙度輪廓圖像拍照下來(lái)評(píng)定。光切顯微鏡適用于計(jì)量室

5

干涉
顯微鏡
測(cè)量法

R_z：
0.032～0.8

　　干涉顯微鏡是利用光波干涉原理，以光波波長(zhǎng)為基準(zhǔn)來(lái)測(cè)量表面粗糙度的。被測(cè)表面有_的粗糙度_呈現(xiàn)出凸凹不平的峰谷狀干涉條紋，通過(guò)目鏡觀察、利用測(cè)微裝置測(cè)量這些干涉條紋的數(shù)目和峰谷的彎曲程度，即可計(jì)算出表面粗糙度的R_a值。必要時(shí)還可將干涉條紋的峰谷拍照下來(lái)評(píng)定。干涉法適用于精密加工的表面粗糙度測(cè)量。適合在計(jì)量室使用